Ｉｎｓｉｄｅ　ＭＥＭＳ　０．５米ドルＭＥＭＳセンサー，価格破壊でケータイ〜３軸品の次の低コスト化手法　パッケージ，補正を簡素に
日経マイクロデバイス　第251号　2006.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第251号（2006.5.1）
ページ数	2ページ　（全2891字）
形式	PDFファイル形式　（288kb）
雑誌掲載位置	68〜69ページ目

岡田　和広ワコー　代表取締役　民生機器用加速度センサーの市場は急拡大を続けており，自動車用が２０年近くかけて形成した市場規模にわずか３〜４年で追い付く勢いである。現在，民生向け市場をけん引して３軸品の主要方式となっている「ピエゾ抵抗型」３軸加速度センサーの低コスト化の見通しを技術的な視点から述べる注１７）。　ピエゾ抵抗型は，Ｓｉのピエゾ抵抗効果を利用して，加速度によって生じるセンサー部のひずみを検…