Ｅｍｅｒｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜タンパク質で微粒子メモリーを作る “自己組織化”がプロセス簡易化のカギ
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号（2006.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全960字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （70kb） |
| 雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
タンパク質やＤＮＡといった生体物質を活用して，リソグラフィ・プロセスでは実現が難しいナノ・デバイスを作る−。そうした手法の基礎技術を，奈良先端科学技術大学院大学（ＮＡＩＳＴ）と松下電器産業の共同グループが開発した。タンパク質を使って不揮発性メモリーを作製し，その動作を世界で初めて実証した（図１）。塗るだけで１０１２個／ｃｍ２の微粒子が整列 同グループは，数ｎｍ径のＦｅ粒子に電荷を蓄積するメモリー…
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