Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ　インタビュー〜真空プロセスは意外に低コスト
日経マイクロデバイス　第250号　2006.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第250号（2006.4.1）
ページ数	2ページ　（全2705字）
形式	PDFファイル形式　（103kb）
雑誌掲載位置	152〜153ページ目

フラットパネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）テレビの大型化に伴い，製造装置も巨大化している。そのコストを削減するため，真空装置を使う工程を省いた“脱真空”プロセスが注目されている。しかし，純粋な雰囲気を使うプロセスより，真空プロセスはかえって安上がりだと，アルバック社長の中村久三氏は説く。同社の真空装置事業，そして研究中の脱真空技術を聞いた。アルバック　代表取締役社長中村　久三　氏−ＦＰＤの製造技術とし…