Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜連載「ＭＥＭＳ ｏｎ ＭＯＴ」（１７） ＭＥＭＳの実用化には何年かかる？
日経マイクロデバイス 第250号 2006.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第250号（2006.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全356字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （141kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
ＭＥＭＳ技術の実用化には障壁が多い。その理由は何か。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）分野においては，各種のハイテク関連技術をベースにして個々のアプリケーションに応じた製品群が存在し，それぞれが研究，開発，事業化，産業化のステージを持つと考えたほうがよい。すなわち，ＭＥＭＳの実用化のためには，応用別かつ事業化までの段階別にその進捗状況を見ておかないと，そ…
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