Tech−On!Ranking[LSI]〜LSI工場の廃水から水とSiを再資源化できる 廃水処理装置を実演
日経マイクロデバイス 第248号 2006.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第248号(2006.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全529字) |
形式 | PDFファイル形式 (274kb) |
雑誌掲載位置 | 89ページ目 |
三洋アクアテクノは,LSI工場の廃水から水とSiをそれぞれ再資源化できる廃水処理装置を「エコプロダクツ2005」に出展した。小型のデモ機を使い本物の工場廃水から水を分離できることを実演した。LSI工場から流される大量のSi粉末を含む廃水を処理する場合,水の再資源化は容易だが,Siの粉末を集めることは難しかった。Si粉末を集めるためには,廃水のSi濃度を高める必要があるが,濃度が高いとフィルタが目…
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