Tech−On!Ranking[LSI]〜みずほ情報総研のTEG解析支援システム LSI大手2社が導入
日経マイクロデバイス 第248号 2006.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第248号(2006.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全340字) |
形式 | PDFファイル形式 (274kb) |
雑誌掲載位置 | 89ページ目 |
TEG(test element group)による測定データ解析を支援し,プロセスの立ち上げを迅速化する「FabMeister−TG(電気特性評価システム)」をみずほ情報総研が開発した。既に300mmウエーハ工場を持つ大手LSIメーカー2社が導入済みとする。今回のシステムは,膨大な測定データを効率良く,素早く解析できるという。Webベースのシステムで,部署を超えて解析手法・結果の情報を共有化で…
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