Ｃｈａｌｌｅｎｇｅｒ 挑戦者〜深掘りエッチングを５倍高速へ ＭＥＭＳデバイスの低コスト化狙う
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1551字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （129kb） |
| 雑誌掲載位置 | 170ページ目 |
Ｆｒａｎｚ Ｌａｅｍｅｒ 氏独Ｒｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ ＧｍｂＨＣｏｒｐｏｒａｔｅ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ａｎｄ ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ ａｎｄ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｉｒｅｃｔｏｒ Ｓｉをもっと高速，もっと滑らかにエッチングできるようにする。そう意気込むのは，独Ｒｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ ＧｍｂＨでＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ…
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