Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特別連載「ＭＥＭＳの本質を理解する」（５） 「加速度センサー，イメージャへの応用」
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全267字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （243kb） |
| 雑誌掲載位置 | 97ページ目 |
自動車・民生分野で使われるセンサー，イメージャについて紹介する。センサーとしては，多結晶Ｓｉの重りをバネで支えた構造の加速度センサーを米Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎｃ．が開発した。バネの加工には表面マイクロマシニングを使う。このタイプの加速度センサーは，重りの動きを静電容量変化として検出する必要があるが，小型化すると容量が小さくなり検出が難しくなる。今回は容量検出回路を集積化することで微…
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