Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特別連載「ＭＥＭＳの本質を理解する」（３） 「三つの製造手法を活用」
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全419字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （243kb） |
| 雑誌掲載位置 | 97ページ目 |
ＭＥＭＳ技術を具体化する加工手法は，大きく「表面マイクロマシニング」，「バルク・マイクロマシニング」，「ナノ・マシニング」の三つに分類できる。表面マイクロマシニングは，犠牲層をエッチングで除去することで基板上に機械的に動く構造，あるいはちょうつがいで立てられる構造を作る技術である。従来のＬＳＩ プロセスに適合しやすい。バルク・マイクロマシニングは，反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）などで深くエッ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全419字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ソニーがＭＥＭＳ専用ラインを新設へ 手ブレ防止用ジャイロ・センサー向け
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ケータイ設計に影響及ぼすＭＥＭＳデバイス Ｓｉマイクの事例
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特別連載「ＭＥＭＳの本質を理解する」（５） 「加速度センサー，イメージャへの応用」
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特別連載「ＭＥＭＳの本質を理解する」（６） 「マイクロ発電機，電池への応用」
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜携帯電話機１台当たり ＭＥＭＳデバイスは何ドルになるか
