Ｉｎｓｉｄｅ Ｎｅｗ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜ＭＥＭＳセンサーが変える 携帯電話機のユーザー・インタフェース
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全5249字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （409kb） |
| 雑誌掲載位置 | 75〜80ページ目 |
加速度センサーと電子コンパスの機能を５．５ｍｍ角，高さ１．５ｍｍのパッケージに収めたセンサーをいち早く携帯電話機に搭載した愛知製鋼が，その実現技術と応用事例を明らかにした。同社がセンサーの小型化を可能にしたのは，ＭＩ（ｍａｇｎｅｔｏ−ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）センサーと呼ぶ高感度の磁気検知技術と，磁性素子をＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）で加工する製造技術であ…
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