ＭＥＭＳ Ｇｌｏｂａｌ Ｖｉｅｗ〜北米で活躍するＭＥＭＳファブレス
日経マイクロデバイス 第238号 2005.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第238号（2005.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全2011字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （26kb） |
| 雑誌掲載位置 | 148ページ目 |
北米におけるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）ビジネスは，１９８０年代初めにＳｉ圧力センサーで始まった。現在ではさまざまなアプリケーションに広がっている。 代表例として，米Ｔｅｘａｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ， Ｉｎｃ．（ＴＩ）のプロジェクタ用「ＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅｓ）」，米ＧＥ Ｎｏｖａｓｅｎｓｏｒ社 のＴＰＭＳ（…
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