Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　試料作成時間を１／１０に削減〜試料作成時間を１／１０に削減
日経マイクロデバイス　第238号　2005.4.1

　作業時間を従来に比べて１／１０に削減できる薄膜試料作成装置（図１）。一般に，透過型電子顕微鏡（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＴＥＭ）でチップ断面などを観察する場合，試料を薄膜状に研磨加工する必要がある。従来の手法では，（ａ）試料の切り出し，（ｂ）粗研磨，（ｃ）打ち抜き，（ｄ）鏡面研磨，（ｅ）くぼみ研磨，（ｆ）イオン・エッチングの６工程が必要だった。このうち，（…