ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ニコンが欠陥評価結果を公開　「液浸固有の欠陥見つからず」
日経マイクロデバイス　第238号　2005.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第238号（2005.4.1）
ページ数	1ページ　（全384字）
形式	PDFファイル形式　（52kb）
雑誌掲載位置	107ページ目

　ニコンが開口数（ＮＡ）０．８５の液浸ＡｒＦ露光装置「ＥＥＴ（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　Ｔｏｏｌ）」の欠陥評価結果を「ＳＰＩＥ　３０ｔｈ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　Ｍｉｃｒｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ（Ｍｉｃｒｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ　２００５）」３日目の昼に開かれた「Ｓｐｅｃｉａｌ　Ｌａｔｅ　Ｂｒｅａｋｉｎｇ　Ｓｅｓｓｉｏｎ」で初めて公開した。ウエーハ上の欠…