Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　製造装置のダウン・タイムを削減〜製造装置のダウン・タイムを削減
日経マイクロデバイス　第237号　2005.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第237号（2005.3.1）
ページ数	1ページ　（全597字）
形式	PDFファイル形式　（162kb）
雑誌掲載位置	96ページ目

　フラットパネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）製造用のＣＶＤ装置やドライ・エッチング装置のダウン・タイム削減に寄与できるシール材（図６）。オー・リングのような輪形をはじめ，多様な形状やサイズに対応できる。従来のフッ素系ゴムによるシール材では，ゴム内に含まれている金属イオンやシール材から発生する微粒子の量が多く，製造装置の処理室内が汚染されるため，装置を頻繁にメンテナンスする必要があった。今回のシール材は…