Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ４倍高速の測定が可能〜４倍高速の測定が可能
日経マイクロデバイス 第237号 2005.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第237号（2005.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全661字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （162kb） |
| 雑誌掲載位置 | 96ページ目 |
数ｎｍ〜数十ｎｍオーダーの微小な立体物の寸法を従来の４倍の速度で３次元計測できる原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）「ＮａｎｏＭａｎＩＩ」（図５）。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスなどの解析に使える。ＡＦＭでは，測定対象物とプローブとの間の原子間力に基づき，測定対象物表面を走査して測定する。今回の装置の測定速…
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