Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　今月のキー・ワード〜『ＦＵＳＩゲート』
日経マイクロデバイス　第236号　2005.2.1

　４５ｎｍノード（ｈｐ６５）から必要になるメタル・ゲートの第１候補に，「ＦＵＳＩ（ｆｕｌｌｙ　ｓｉｌｉｃｉｄｅｄ）ゲート」が急浮上してきた。ＦＵＳＩゲートとは，通常の多結晶Ｓｉゲートを表面だけではなく内部まで完全にシリサイド化したゲート電極を指す。ピュア・メタルを使う場合に比べて，従来の多結晶Ｓｉゲートに近い製造プロセスでメタル・ゲートを実現できる点が注目されている。しかし，これまでは高誘電率（ｈ…