Emerging Technology〜ノズル径1nmの“インクジェット” カーボン・ナノチューブで原理を実証
日経マイクロデバイス 第236号 2005.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第236号(2005.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1009字) |
形式 | PDFファイル形式 (55kb) |
雑誌掲載位置 | 5ページ目 |
カーボン・ナノチューブ(CNT)をインクジェット・ノズルとして使い,線幅が数nmの電子回路を直接描画する−−。このような可能性を示唆する成果が登場した(図1)。CNTを使ったインクジェット技術の原理を,産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門主任研究員の片浦弘道氏と,東京都立大学大学院助教授の真庭豊氏が実証した。 片浦氏,真庭氏らは,CNT内部に水分子を閉じ込め,CNTの直径や温度を変化させた…
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