Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ〜「検査は製造装置を延命する」
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第235号（2005.1.1）
ページ数	2ページ　（全2629字）
形式	PDFファイル形式　（142kb）
雑誌掲載位置	144〜145ページ目

ＬＳＩの微細化により見つけにくい欠陥が増えることで，ＬＳＩメーカーの検査コストの負担は大きいものとなってしまう。一方で，検査装置を駆使し歩留まりの向上につなげられれば，検査は製造に付加価値を与える“強み”にもなりうる。検査の価値を高めるために装置メーカーはどのような戦略をとるのか，業界のけん引役である米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ　Ｃｏｒｐ．の最高責任者に聞いた。米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ　Ｃｏｒｐ．　Ｐｒｅ…