ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜東北大の小柳教授　貫通ビア使った　３次元積層ＬＳＩ技術を事業化へ
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第235号（2005.1.1）
ページ数	1ページ　（全314字）
形式	PDFファイル形式　（39kb）
雑誌掲載位置	110ページ目

　東北大学教授の小柳光正氏は，同氏が研究開発してきた貫通ビアを使った３次元積層ＬＳＩ技術を事業化する。今回，小柳氏はベンチャであるザイキューブの取締役ＣＴＯに就任し，同社において３次元積層ＬＳＩ技術の実用・量産化に取り組むことになった。ザイキューブは２年前に設立されたベンチャだが，当初から小柳氏の３次元積層ＬＳＩ技術を事業化することが主な目的だった。今回，小柳氏が取締役ＣＴＯに就任したことによって…