Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　今月のキーワード〜『高屈折率液体』
日経マイクロデバイス　第235号　2005.1.1

　ＬＳＩの露光分野で新たな材料が出てきた。液浸ＡｒＦ露光向けの“高屈折率液体”である。１２月の「セミコン・ジャパン２００４」に登場し，多くの露光技術者が「こんなに早く実現するとは思わなかった」と驚きの声を上げた。高屈折率液体とは，屈折率が純水（１．４４）よりも高い液体を指す。通常，液浸露光ではレンズとウエーハの間に純水を入れて解像度や焦点深度を改善させるが，高屈折率液体を使えば，さらに改善できる。…