Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］〜米社がエレクトロフォーミングによる 微小機構部品の加工を提案
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全651字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 190ページ目 |
米国マサチューセッツ州の電子部品メーカー，米Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｏｒｐ．（ＤＲＣ）がエレクトロフォーミング法（電鋳法）による微小機構部品の加工を提案している。これまではエッチング加工で製造することが多かったが，サイド・エッチングなどの問題から，アスペクト比や壁面の直立性には限界がある。しかし同社のエレクトロフォーミング技術を使えば，一ケタ高い精度の機構部品を加工できるという。 Ｄ…
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