Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜東芝大分工場の３００ｍｍ新棟 「ＨＡＬＣＡ」技術を導入へ
日経マイクロデバイス 第226号 2004.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第226号（2004.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2222字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （96kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102〜103ページ目 |
この２月に竣工した東芝大分工場の３００ｍｍウエーハ新棟に，「ＨＡＬＣＡ」の技術が入ることが明らかになった（図１，図２）。ＨＡＬＣＡの技術が量産ラインに導入されるのは今回が初めてとなる。ＨＡＬＣＡとは多品種少量生産を目指した官民共同のプロジェクトである。１台の装置で複数のプロセスに対応する多機能装置などを駆使し，少ない投資額で効率的なＬＳＩ生産を実現することを目指していた注１）。未完成の技術は装置…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ（全2222字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜人材枯渇，ＷＴＯ提訴・・・・・ 中国ＬＳＩメーカーの苦悩と飛躍への布石
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｎｅｗ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ］〜ナノテクが実用レベルの競争に 燃料電池，ＦＥＤの具体例が相次ぐ
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜プロセス共同開発で生まれた Ｓａｍｓｕｎｇ−ＩＢＭ連合の意味
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜世界最小セルのメモリー技術 １３．９ＧＨｚ動作のＰＬＬに注目
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜「無理に仲良くしなくても大丈夫です」 ルネサスが新データベースでＥＤＡ改革
