Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ８〜常識破りの物性を　ナノ領域から引き出す
日経マイクロデバイス　第223号　2004.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第223号（2004.1.1）
ページ数	6ページ　（全6812字）
形式	PDFファイル形式　（243kb）
雑誌掲載位置	68〜73ページ目

特殊な物性を持つ「ナノ材料」を使って，半導体・ディスプレイ分野に革新を起こす試みが始まった。これまではＳｉ基板のようなバルク材料を微細加工することによって機能素子を実現してきたが，ここへ来て限界が見えてきた。微細化すれば性能や集積度は高まるが，発光や電子放出などの新たな物性が発現することは少ないためである。これに対し，寸法が数ｎｍのナノ材料には元々バルク材料には見られない特殊な物性がある。このナノ…