Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜“第７世代ライン対応”を明記した　ドライ・エッチング装置を先駆けて披露
日経マイクロデバイス　第221号　2003.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第221号（2003.11.1）
ページ数	1ページ　（全1017字）
形式	PDFファイル形式　（53kb）
雑誌掲載位置	134ページ目

　第７世代のＴＦＴ液晶生産ラインに対応したドライ・エッチング装置を，他社に先駆けてワイエイシイが開発，検証機として評価を始めた（図１）。対応できる最大ガラス基板寸法は１８７０×２２００ｍｍ２と，韓国Ｓａｍｓｕｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｃｏ．，　Ｌｔｄ．が採用する基板に合わせている。エッチング装置に限らず，このように“第７世代ライン対応”を明確にしている製造装置は珍しい。「実際にできることを最初…