Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜オランダＡＳＭＬとスウェーデンＭｉｃｒｏｎｉｃが マスクレス露光装置のベンチャを設立
日経マイクロデバイス 第219号 2003.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第219号（2003.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全334字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （99kb） |
| 雑誌掲載位置 | 92ページ目 |
オランダＡＳＭＬ Ｈｏｌｄｉｎｇ ＮＶ（ＡＳＭＬ）とスウェーデンＭｉｃｒｏｎｉｃ Ｌａｓｅｒ Ｓｙｓｔｅｍｓ ＡＢ（Ｍｉｃｒｏｎｉｃ）は，ＬＳＩ製造向けのマスクレス光露光装置の開発ベンチャを共同で設立する。すでにＡＳＭＬは，本誌のインタビューの中で，マスクレス露光のためにレーザー直描技術の開発を進めることを明らかにしている。Ｍｉｃｒｏｎｉｃは微小ミラーを集積したデバイスである「ＳＬＭ（Ｓｐａｔｉ…
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