Ｉｎｓｉｄｅ　Ｍｅｍｏｒｙ　囲み〜０．１８μｍルールのＭＲＡＭセルは１．４μｍ２　アプリケーション設定が課題
日経マイクロデバイス　第217号　2003.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第217号（2003.7.1）
ページ数	1ページ　（全815字）
形式	PDFファイル形式　（222kb）
雑誌掲載位置	103ページ目

　米ＩＢＭ　Ｃｏｒｐ．と独Ｉｎｆｉｎｅｏｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ　ＡＧ．は共同で，０．１８μｍルールのＭＲＡＭセル・アレイを試作した。メモリー・セル面積は１．４μｍ２。アレイの大きさは１２８Ｋビットである。「インスタント・コンピュータ」の実現に向け，２００５年の製品化を目指す。　セルはロジックＬＳＩ向けプロセスを利用して，３層Ｃｕ配線を使って組み上げた（図Ａ）。１層目のＣｕを書き込み線に，２層…