μレポート［ＬＳＩ製造］〜ＬＳＩの構造解析 ３次元時代に突入
日経マイクロデバイス 第216号 2003.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第216号（2003.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全2990字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （161kb） |
| 雑誌掲載位置 | 23〜25ページ目 |
検査・分析顕微鏡ＳＥＭＬＳＩのデバイス構造は３次元で解析する時代に入ってきた。このような流れの先べんを付ける技術を理化学研究所，日立製作所中央研究所，日立ハイテクノロジーズの３者が共同開発，２００３年２月末に開かれた「ｎａｎｏ ｔｅｃｈ ２００３ 国際ナノテクノロジー総合展」に出展して来場者の話題を集めた。さらに，この６月７〜９日に北海道で開かれる「日本顕微鏡学会第５９回学術講演会」では３次元構造…
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