連載［マニュファクチャリング］〜ＭＥＭＳ技術が広く浸透 新産業の芽が目白押し
日経マイクロデバイス 第214号 2003.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第214号（2003.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 7ページ （全8093字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （350kb） |
| 雑誌掲載位置 | 137〜143ページ目 |
ＭＥＭＳ携帯電話機電子ビームＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術が広く浸透し始めた。これまでは特殊な一部の用途に限られていたが，今後はカー・ナビゲーションや携帯電話機といった「自動車・民生分野」，マスクレス電子ビーム露光機などの「製造・検査分野」など多方面で使われるようになる。そこで，前編と後編にわたってＭＥＭＳの最新事情を報告する。前編の今回は，各分野…
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