μレポート［ＬＳＩ製造］〜ベールを脱いだキヤノンの マスクレスＥＢ露光技術
日経マイクロデバイス 第213号 2003.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第213号（2003.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全1966字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （140kb） |
| 雑誌掲載位置 | 36〜37ページ目 |
露光ＥＢマスクレスマスクレス電子ビーム（ＥＢ）露光技術の詳細と開発の進ちょく状況をキヤノンが明らかにした。技術の詳細は，同社がＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ−ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）関係と真空関係の学会で発表したために，競合他社のＥＢ露光技術者が「開発していることしか知らない」という状況だった。進ちょく状況は，「２００５年に試作・量産対応版を出荷する」（同社広報部）ことしか公表…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ（全1966字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
μレポート［ＬＳＩ製造］ 囲み〜携帯電話機のＯＥＭ供給で 躍進する台湾メーカー
μレポ−ト［パッケージ］〜ユーザー使い勝手の 阻害要因を解決 新ＳｉＰ技術が登場
μレポート［ＬＳＩ設計］〜ＬＳＩ設計の危機を背景に ５５０人が福岡に集結 ＳｏＣの今後を議論
産業ウオッチャ〜英Ｓｏｎｙ Ｅｒｉｃｓｓｏｎの ＰＤＡ一体型携帯電話機 部品数は通常の２〜４倍
産業ウオッチャ〜米国のプリント基板業界 受注と出荷が２年で半減 ほぼ１０年前の水準に
