特集 Ｐａｒｔ２〜装置各社が開発拠点拡充 プロセス全体をサポート
日経マイクロデバイス 第207号 2002.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第207号（2002.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 7ページ （全7057字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （251kb） |
| 雑誌掲載位置 | 64〜70ページ目 |
ＬＳＩプロセス 研究・開発 製造装置製造装置メーカーが，プロセス技術の開発拠点を急速に拡充させている。自社内でのプロセス開発やＬＳＩメーカーとの共同開発を実施できるようにするためである。これによって，ＬＳＩメーカーが担当してきたプロセス開発の主要な実務を担当できる力を付ける。開発したプロセスの提供の仕方は，製造装置メーカーの間で二つに分かれた。提案型と要求対応型である。提案型はＬＳＩメーカーへの提…
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