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日経マイクロデバイス　第206号　2002.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第206号（2002.8.1）
ページ数	3ページ　（全3042字）
形式	PDFファイル形式　（156kb）
雑誌掲載位置	143〜145ページ目

ＦＰＤ■カラー・フィルタ用露光装置「ＬＥ９１００Ｓ」　基板の大型化に伴って急騰するマスク・コストを大幅に低減できるカラー・フィルタ向けプロキシミティ露光装置（図１）。マスクを大型化せずに，１１００×１３００ｍｍ２の大型基板全面を露光できるようにした。マスクの幅が１ｍを超えると，マスク・パターンの無い石英ガラスの価格だけで１０００万円を超えてしまう。これを２００万〜４００万円程度に抑えるために，今回…