μレポート［ＬＳＩ製造］〜枚葉式の洗浄処理装置 性能改善が進み ＬＳＩメーカーの採用が拡大
日経マイクロデバイス 第205号 2002.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第205号（2002.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2222字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （112kb） |
| 雑誌掲載位置 | 135〜136ページ目 |
ＬＳＩプロセス洗浄装置製造装置枚葉化枚葉式の洗浄処理装置の採用がＬＳＩメーカーで広がってきた。これまでは不十分だった洗浄能力や処理能力が，向上してきたためである。この状況に拍車をかけるように，製造装置最大手の米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．（ＡＭＡＴ）が枚葉式洗浄装置市場に参入した。この６月に投入した製品は，洗浄能力や処理能力でバッチ式を上回る性能を実現している。枚葉式洗浄装置への…
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