産業ウオッチャ〜F2やEUVの開発促し 米Intelがニコンに 100億円を出資
日経マイクロデバイス 第205号 2002.7.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第205号(2002.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全241字) |
形式 | PDFファイル形式 (64kb) |
雑誌掲載位置 | 31ページ目 |
日本露光製造装置 米Intel Corp.がニコンに出資する。ニコンは総額500億円の転換社債型の新株予約権付き社債を発行し,このうち100億円をIntelの子会社が購入する。ニコンの発行済み株式の1.36%をIntelが保有することになる。Intelは微細化に沿ってF2エキシマ・レーザー露光からEUV露光へ技術を進化させる方針である。今回の出資の狙いはこれらの露光装置をニコンに積極的に開発させる…
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