インタビュー〜「日本発の標準技術を育てたい」
日経マイクロデバイス　第204号　2002.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第204号（2002.6.1）
ページ数	2ページ　（全2767字）
形式	PDFファイル形式　（92kb）
雑誌掲載位置	14〜15ページ目

元ＮＥＣの社員が独立し，ＬＳＩ生産管理のベンチャを設立した。この２月に発足したファブソリューションである。同社が取り組むのは，ＥＳＤ（静電気放電）のモニター技術と，電子ビーム（ＥＢ）を使ったプロセス評価技術である。これらはＮＥＣにとっては差異化要因にしにくく，社内での扱いが難しい技術だった。これを新会社に移管して開発・実用化していく。ファブソリューションの設立メンバーの中で中心的な存在であり，この…