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日経マイクロデバイス　第203号　2002.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第203号（2002.5.1）
ページ数	3ページ　（全3314字）
形式	PDFファイル形式　（136kb）
雑誌掲載位置	129〜131ページ目

ＬＳＩ製造■ＦＯＵＰ洗浄装置「ＴＦＣ−８０２」　各種のウエーハ・キャリヤのうちＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ　ｏｐｅｎ　ｕｎｉｆｉｅｄ　ｐｏｄ）に特化した洗浄装置（図１）。２００ｍｍウエーハまではオープン・カセットや「ＳＭＩＦ」ボックスなどが並存し，手洗いや簡単な洗浄装置が使われていた。しかし，３００ｍｍウエーハではＦＯＵＰに統一される方向であり，クラス１という高いクリーン度が要求される。さらにＦＯＵＰは開…