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日経マイクロデバイス　第195号　2001.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第195号（2001.9.1）
ページ数	3ページ　（全3121字）
形式	PDFファイル形式　（79kb）
雑誌掲載位置	150〜152ページ目

ＬＳＩ製造■メモリー・リペア装置「Ｍ４３０」　３００ｍｍウエーハと２００ｍｍウエーハの両方に対応したメモリー・リペア装置（図１）。当初は２００ｍｍライン向けに導入し，将来は３００ｍｍラインへ転用するといった使い方が可能になり，装置コストを低減できる。３００ｍｍと２００ｍｍの両方に対応させるため，ウエーハ・ハンドラを新規に開発した。このハンドラにより，ＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ　ｏｐｅｎ　ｕｎｉｆｉｅｄ　…