μレポート［ＦＰＤ］〜液晶パネルの微細化ペース　半導体とほぼ同じだが　コストへの寄与は小さい
日経マイクロデバイス　第195号　2001.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第195号（2001.9.1）
ページ数	2ページ　（全2251字）
形式	PDFファイル形式　（38kb）
雑誌掲載位置	148〜149ページ目

液晶パネル製造装置基板サイズ半導体とＴＦＴ液晶パネルの微細化技術のトレンドはほぼ同じ傾きであり，いずれも３年で０．７倍のペースで縮小し続けている。しかし，微細化技術を低コスト化に反映させてきた半導体に対し，ＴＦＴ液晶パネルではコストに反映していない。液晶パネルの場合は微細化技術を主に高開口率化に振り向けており，低コスト化はマザー・ガラス基板サイズの拡大に頼らざるを得なかった。本誌８月号でＴＦＴ液晶…