連載［マニュファクチャリング］〜故障診断技術を使い 製造工程の異常を統計的に推定
日経マイクロデバイス 第192号 2001.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第192号（2001.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全6862字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （121kb） |
| 雑誌掲載位置 | 171〜176ページ目 |
高額な装置を使って欠陥や異常を検出しても，それが電気的不良とどのように結び付いているのかが明確にならなければ意味はない。本連載「システムＬＳＩ時代の新技術体系」の最終回は，この部分に焦点を当てる。ＮＥＣはロジックＬＳＩに対して，欠陥が電流値を左右することを利用したＩＤＤＱ診断技術及び不良経路追跡による故障診断技術を開発し，自社内で使ってきた。欠陥や異常を発見した回路ブロックがＩＤＤＱ診断結果などと…
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