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日経マイクロデバイス　第192号　2001.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第192号（2001.6.1）
ページ数	3ページ　（全2931字）
形式	PDFファイル形式　（74kb）
雑誌掲載位置	164〜166ページ目

ＬＳＩ製造■「Ｔ−ＧＥＴ　ＩＩＩ」　運転コストを半減できるクリーン・ルーム向け空気清浄装置（図１）。一般にクリーン・ルーム向けの空気清浄装置では，容器内に取り込んだ外気に純水を循環させながら散布することによって，空気中に含まれる化学汚染物質を吸収・除去し，清浄空気を作る。ただ，空気中のＣＯ２や酸性ガスが純水中に溶け込み，純水が酸性に傾いていくと酸性の化学汚染物質の除去効率が徐々に低下してしまう問題…