論文［ＬＳＩ製造］［ＬＣＤ（ディスプレイ）］〜ＬＳＩ・ＬＣＤ製造革新へ第一歩 大気圧下でベルト・コンベアのように
日経マイクロデバイス 第190号 2001.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第190号（2001.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 8ページ （全7501字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （126kb） |
| 雑誌掲載位置 | 139〜146ページ目 |
プラズマ短ＴＡＴ大口径化真空を使わずにプラズマ処理を行う技術を積水化学工業が開発した。この技術は大気圧下でベルト・コンベアのようにウエーハを連続処理する革新的な生産方式への第一歩になる。当初はプラスチック化成品の表面処理を目的に開発したが，それをＬＳＩ・ＬＣＤ分野に応用するため，一気に開発を加速している。このような生産方式は過去に東北大学などが重要性を指摘していたが，ＬＳＩ・ＬＣＤとは全く異なる分…
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