解説［ＬＳＩ製造］〜量産準備整う３００ｍｍ第１世代　第２世代はネット利用目指す
日経マイクロデバイス　第185号　2000.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第185号（2000.11.1）
ページ数	6ページ　（全5733字）
形式	PDFファイル形式　（153kb）
雑誌掲載位置	135〜140ページ目

大口径化生産技術インターネット３００ｍｍウエーハ量産ラインの工場コンセプトが見えてきた。２００１年に量産開始する第１世代と，２００２年以降の第２世代の２段階になる。第１世代では，既存の生産設備を前提に２００ｍｍラインを上回る生産性を実現する。第２世代では，インターネット利用などで一層の生産性向上を目指す。先行する米Ｉｎｔｅｌ　Ｃｏｒｐ．に対し，競合各社が危機感を募らせ始めた。このような状況が，９月…