新製品ファイル〜新製品ファイル
日経マイクロデバイス　第185号　2000.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第185号（2000.11.1）
ページ数	4ページ　（全4500字）
形式	PDFファイル形式　（94kb）
雑誌掲載位置	99〜102ページ目

ＬＣＤランニング・コストを１／５に■レジストはく離装置　ランニング・コストを１／５，設置面積を１／２，Ｃの排出量を１／１０に減らしたレジストはく離装置（図１）。三菱電機と島田理化工業がはく離液を使わないレジストはく離技術を共同開発し，装置化した。ランニング・コストは従来，はく離液を使っていたために高かった。ランニング・コストの「約８０％をはく離液が占めていた」と三菱は指摘している。設置面積は「レジ…