連載［マニュファクチャリング］　寄稿〜小規模生産ラインを可能にする　装置技術，８項目を提案
日経マイクロデバイス　第183号　2000.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第183号（2000.9.1）
ページ数	4ページ　（全5579字）
形式	PDFファイル形式　（64kb）
雑誌掲載位置	186〜189ページ目

システムＬＳＩ工場製造装置「小規模で段階投資型の生産方式」を実現する新しい製造技術体系を東北大学大見研究室は提案する。プラズマ励起高周波電力系など，あらゆる装置の仕様を固め，プロセスの面内均一性，再現性が完全になるようにすることによって，機差のない装置，メンテナンス前後で性能変化がない装置を実現する。装置価格の削減，納期の短縮が可能になることに加え，シミュレーションに載るようになるため開発・試作期…