μレポート［（ディスプレイ）］〜ＴＦＴ検査技術が一新 装置コストの大半占める プローブ針を不要に
日経マイクロデバイス 第183号 2000.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第183号（2000.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 4ページ （全4114字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （78kb） |
| 雑誌掲載位置 | 80〜83ページ目 |
検査技術ＴＦＴ高精細化ＴＦＴアレイ検査が一新する。ＴＦＴアレイ・テスターのコストの大半を占めていたプローブ針を不要にする技術が，本格的な実用段階に入るからである。すでに２台が韓国のＴＦＴ液晶パネル量産ラインで稼働しているが，ここへ来てプローブ針を使う従来テスターの開発元である日本アイ・ビー・エムの子会社ディスプレイ・テクノロジーまでが評価を始めた。この検査技術の詳細と，パネル・メーカーであるディス…
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