μレポート[LSI製造]〜300mmライン運営手法や インターネット利用の 生産技術が相次ぎ登場
日経マイクロデバイス 第183号 2000.9.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第183号(2000.9.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1892字) |
形式 | PDFファイル形式 (30kb) |
雑誌掲載位置 | 73ページ目 |
生産技術大口径化CMP300mmウエーハ量産ラインの運営手法とインターネットを活用した製造の効率化「e−manufacturing」。2000年9月26日〜28日に東京で開かれる「9th International Symposium on Semiconductor Manufacturing(ISSM2000)」では,このような今後のLSI量産技術の効率的な手法についての発表が相次ぐ。このほか…
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