連載［マニュファクチャリング］〜システムＬＳＩ，ディスプレイ，太陽電池　デバイス技術を塗り替える
日経マイクロデバイス　第182号　2000.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第182号（2000.8.1）
ページ数	8ページ　（全8407字）
形式	PDFファイル形式　（240kb）
雑誌掲載位置	213〜220ページ目

システムＬＳＩディスプレイ太陽電池「サイエンスに裏付けられた半導体製造」の時代がいよいよ始まる。経験と勘が支配する技術は過去の遺物になり，それに代わって論理的に設計したプロセスをそのままに具現化する技術ができてきたからである。現時点のプロセスは，かろうじてＳｉ（１００）面上にのみＣＭＯＳ　ＬＳＩを製作できるレベルに過ぎないが，今回大見研究室はこの枠を超える技術を示した。いかなる面方位でも，単結晶で…