産業ウォッチャ〜群馬の化学工場爆発　住友化学の事故のような　深刻な事態は回避
日経マイクロデバイス　第181号　2000.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第181号（2000.7.1）
ページ数	1ページ　（全759字）
形式	PDFファイル形式　（79kb）
雑誌掲載位置	57ページ目

日本ＬＳＩ製造工場部品・材料　化学薬品メーカー日進化工の爆発事故は，１９９３年に起きた住友化学工業の爆発事故のような深刻な事態にはならないとの見方が強まってきた（図１）。当初は，レジストはく離剤に使うヒドロキシルアミンの供給不足が懸念されていた。しかし今回は住友化学の場合と次の二点で大きく異なる。第１に，供給を受けるＬＳＩメーカーの割合である。住友化学からは世界中で供給を受けていたためＬＳＩ各社は…