おぴにおん〜提言「スーパーコネクト」
日経マイクロデバイス　第178号　2000.4.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第178号（2000.4.1）
ページ数	1ページ　（全2123字）
形式	PDFファイル形式　（28kb）
雑誌掲載位置	7ページ目

桜井　貴康　氏東京大学国際・産学共同研究センター生産技術研究所第３部教授　今後１０年のＬＳＩ技術の課題を展望すると，配線技術に多くの問題が集中していることに気付く。優れたＬＳＩの指標には高速，低消費電力，高信頼，小チップ面積，短ＴＡＴ（ｔｕｒｎ−ａｒｏｕｎｄ　ｔｉｍｅ）などがある。従来はトランジスタ技術がこれらの指標をすべて決めていた。しかし，ここへ来て配線技術がこれらの指標を決めるという枠組みの…