新製品ファイル〜「セミコン・ジャパン　９９」特集
日経マイクロデバイス　第174号　1999.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第174号（1999.12.1）
ページ数	9ページ　（全19152字）
形式	PDFファイル形式　（751kb）
雑誌掲載位置	138〜146ページ目

超解像なしに０．１５μｍを実現できる露光装置■ＫｒＦスキャン露光装置「ＰＡＳ５５００／７００Ｄ」（１）位相シフト・マスクや変形照明などの超解像技術を使わずに０．１５μｍの解像度を実現できるスキャン露光装置。これを実現するため，ＫｒＦエキシマ・レーザー露光技術を使い，開口数（ＮＡ）を０．７と大きくした。このほかの特徴として，スループットを１２０枚／時間と，従来の解像度０．１５μｍのスキャン露光装置に…