NewsLetter LCD〜投資生産性を2倍に上げた 生産ラインをシャープが 液晶三重第2工場に導入
日経マイクロデバイス 第170号 1999.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第170号(1999.8.1) |
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ページ数 | 1ページ (全590字) |
形式 | PDFファイル形式 (34kb) |
雑誌掲載位置 | 192ページ目 |
生産ラインガラス基板TFT シャープは,投資生産性を2倍に上げたTFT液晶生産ラインを液晶三重第2工場に導入する。投資生産性とは,投資額に対する液晶パネルの生産台数を指す。最大の生産効率を実現するための装置性能,装置レイアウト,ガラス基板の流れなどをコンピュータ・シミュレーションによって求めた。その結果,マスク枚数を5枚以下にすること,成膜装置の安定性や耐久性を改善し稼働率を大幅に上げることが可能…
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